研究／開発／製造系 研修・セミナー

【講座のポイント】

　電子デバイス、中でも半導体デバイスは大きな技術の転換点に差し掛かっている。その理由は、これまで高性能化・高機能化（高速化・高集積化）の推進力となってきたパターンの微細化・デバイス構造の微小化、それらが限界に近づいてきたためである。

　このような微細化・微小化の限界を回避し高性能化・高機能化を推し進めるための一つの方策、それが構造の立体化（すなわち3次元化）である。現在、半導体デバイスでは3次元化を発展させるための研究・開発が精力的に進められている。一方、3次元化技術を研究・開発し実用化するためには、3次元計測が不可欠になる。

　本セミナーでは、上に述べたような視点から、半導体デバイスにおける3次元計測の現状と課題について紹介し、今後の開発方向について述べる。

【プログラム】

1．半導体デバイス・プロセス技術の開発動向と3次元化の加速

　　1-1．変わることを強いられる半導体デバイス・プロセス技術
　　1-2．デバイス構造の3次元化
　　1-3．配線構造の3次元化
　　1-4．3次元実装の更なる推進
　　1-5．新探究デバイス・新探究材料の開発
　　1-6．Computational Lithographyの高度化とEUVリソグラフィへの期待

2．半導体デバイス・プロセスにおける3次元計測の現状と課題

　　2-1．半導体デバイス・プロセスにおける3次元計測とは！
　　2-2．デバイス形成に係わる3次元計測の現状と課題
　　　　　・Fin FET、3D Memory他
　　2-3．配線形成に係わる3次元計測の現状と課題
　　　　　・Cu配線/low-k膜他
　　2-4．実装に係わる3次元計測の現状と課題
　　　　　・TSV他
　　2.5．新探究デバイス・材料に係わる3次元計測の課題
　　　　　・CNT他
　　2-6．Computational LithographyおよびEUVマスクに係わる3次元計測の課題
　　　　　・多層マスク他

3．主な3次元計測技術

　　3-1．光を用いた3次元計測
　　　　　・スキャトロメトリ、赤外線（干渉計、反射計、共焦点顕微鏡）、TSOM　他
　　3-2．X線を用いた3次元計測
　　　　　・SAXS、X線トモグラフィ（X線CT）他
　　3-3．電子ビームを用いた3次元計測
　　　　　・SEM（FIB、プロファイル）、TEM（FIB、トモグラフィ）他
　　3-4．SPMを用いた3次元計測
　　　　　・SAM、CD-AFM他
　　3-5．超音波を用いた3次元計測
　　　　　・超音波顕微鏡他
　　3-6．将来方向
　　　　　・Integrated Metrology、Model based Metrology、Hybrid Metrology他

【質疑応答・名刺交換・個別相談】

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ジャンル : その他

【受講対象】

研磨加工技術者、研磨加工副資材開発者

【講座のポイント】

研磨技術、研磨パッドの使用技術

【講座のポイント】

　遊離砥粒研磨においては、工作物と砥粒の相対速度が研磨能率に大きく影響する。砥粒の研磨パッドでの保持特性を向上するために、有機無機複合砥粒やエポキシ樹脂研磨パッド、酸化ジルコニウム系代替砥粒等の開発を行っている。そのことが酸化セリウムの使用量を削減し、酸化ジルコニウムによる代替を可能にしている。それら一連の技術について紹介する。

【プログラム】

１．NEDOプロジェクトの概要

２．複合粒子研磨法と複合砥粒

３．高機能研磨パッドの開発

４．ジルコニア系代替砥粒の開発

【質疑応答・名刺交換・個別相談】

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【習得できる知識】

（１）プレゼンテーションの目的が理解できる。
（２）自身行っているプレゼンテーションの現状を認識し、改善指針が策定できる。
（３）プレゼンテーションの基本が習得できる。
（４）論理的でわかり易いプレゼンテーションを行う手法を習得できる。
（５）人々に自分が主張したい内容をわかり易く伝える手法が習得できる。

【受講対象者】

自身のプレゼンテーションを見直し、飛躍的な向上を行いたい方

【講座の趣旨、ポイント】

　プレゼンテーションの目的は、「聞き手のキーマンに、意図したアクションを実行させる」ことです。
　本講座では、自身の弱点分析から、成功するプレゼンテーションに必要なノウハウを体系的に習得します。特に、シナリオ作成を行うための技法、プレゼンテーションの完成度を上げるための技法、実施と評価のポイントを習得します。講義と演習とフィードバックを、繰り返しながら進める実践講座です。

【プログラム】

１．本日の目的

　　1-1．アイスブレイク
　　1-2．プレゼンの基本と現状確認
　　1-3．自己紹介プレゼン演習
　　1-4．映像による現状確認と評価

２．キーマンの確認とシナリオ作成

　　2-1．テーマの確認
　　2-2．キーマンモデルの策定
　　2-3．シナリオマップとシナリオ作成

３．コンテンツ作成

４．リハーサルと評価・改善

　　・グループリハーサル

５．グループプレゼン

　　5-1．代表プレゼンテーション（ＶＴＲ撮影）
　　5-2．映像再生・評価シート記入
　　5-3．全体フィードバック

６．まとめ

【質疑応答・名刺交換・個別相談】

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【講座の趣旨、ポイント】

　伝熱現象は熱エネルギーの移動現象であり、様々な工業機器のみならず、一般家庭にも広く見られる基本的な現象です。その現象の理解は産業界の技術者にとって、製造プロセスの管理や熱制御、さらには省エネルギー技術などに取り組むために必須であると言えます。

　本講演では初学者向けに伝熱現象に関する基礎知識を習得し、応用に展開できる基礎力を養うことに目標を置いて、熱伝導、対流伝熱、放射伝熱について、初歩的なことから分かり易く解説しますので、ぜひご参加ください。

【プログラム】

１．はじめに

２．熱伝導-について

３．対流伝熱について

４．放射伝熱について

５．おわりに

（質疑応答・名刺交換・個別相談）

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【受講対象】

　特に特別の知識は必要ありませんが、化学（有機化学、高分子化学）の基礎知識があれば理解しやすいと思います。
　受講対象は、企業でカップリング剤処理、表面処理を行う技術者、コンパウンド、複合材料（ナノコンポジット／ナノハイブリッド）の開発を行う技術者などです。

【習得できる知識】

シランカップリング剤の種類、シランカップリング剤の使い方、シランカップリング剤の作用機構、シランカップリング剤の表面処理効果、表面分析／解析法、シランカップリング剤の応用（複合材料（ナノコンポジット／ナノハイブリッド）の設計、合成、特性解析法）などが習得できます。

【講座のポイント】

　金属・無機材料の表面改質や有機材料と無機材料の相溶性を改善する試薬として、シランカップリング剤は工業的に広く利用されている。シランカップリング剤は、有機材料と無機材料間に新たな界面層を形成させ、両成分の相溶性や接着性を高めたり、無機材料の分散性を向上させる効果がある。また近年、新しい材料としてゾルーゲル法や無機微粒子を使った有期-無機ナノコンポジット／ナノハイブリッド材料の開発研究が盛んに行われているが、シランカップリング剤は複合化に重要な役割を果たしている。

　ここでは、シランカップリング剤の種類、機能、作用機構、効果的な使用法、処理効果、表面分析・解析法や応用について、シランカップリング剤の基礎から応用について概説する。

【プログラム】

１．シランカップリング剤の概要

２．シランカップリング剤の反応と作用機構　

３. シランカップリング剤の効果的な使い方と処理効果

４.表面キャラクタリゼーション―シランカップリング剤の反応状態、表面状態の分析法

５．シランカップリング剤の応用

６．参考文献

【質疑応答・名刺交換・個別相談】

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